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Der Vorschlag und die Entwicklung von Oberflächenrauheitsstandards stehen in engem Zusammenhang mit der Entwicklung der industriellen Produktionstechnologie. Es hat zwei Phasen durchlaufen, von der qualitativen Bewertung zur quantitativen Bewertung. Der Einfluss der Oberflächenrauheit auf die Oberflächeneigenschaften von Maschinenteilen erregte erstmals im Jahr 1918 Aufmerksamkeit. Bei der Konstruktion von Flugzeugen und Flugzeugtriebwerken begann man, aufgrund der Anforderung, möglichst wenig Material zu verwenden, um maximale Festigkeit zu erreichen, darauf zu achten Einfluss von Werkzeugspuren und Kratzern auf der bearbeiteten Oberfläche auf die Dauerfestigkeit. Die Auswirkungen werden untersucht. Aufgrund der Schwierigkeit der Messung gab es jedoch zu diesem Zeitpunkt keine quantitativen numerischen Bewertungsanforderungen und die Bestimmung erfolgte nur auf der Grundlage einer visuellen Inspektion. In den 1920er und 1930er Jahren verwendeten viele Industrieländer der Welt häufig Kombinationen dreieckiger Symbole, um Bearbeitungsflächen unterschiedlicher Präzision darzustellen.
Um den Einfluss der Oberflächenrauheit auf die Teileleistung und die Notwendigkeit der Messung der Oberflächenmikrorauheit zu untersuchen, haben einige Experten aus Deutschland, den Vereinigten Staaten, dem Vereinigten Königreich und anderen Ländern in den späten 1920er bis 1930er Jahren Profile entworfen und hergestellt Rekorder und Profilometer sowie Instrumente, die optische Methoden zur Messung der mikroskopischen Oberflächenrauheit verwenden, wie Lichtschnittmikroskope und Interferenzmikroskope, wurden hergestellt und schaffen damit die Voraussetzungen für die quantitative numerische Bewertung der Oberflächenrauheit. Seit den 1930er Jahren werden quantitative Bewertungsparameter der Oberflächenrauheit untersucht. Beispielsweise schlug Abbott in den Vereinigten Staaten vor, die Tiefe von der Spitze des Oberflächenprofils und die Kurve des Trägerlängenverhältnisses zur Charakterisierung der Oberflächenrauheit zu verwenden.
Veröffentlichte Schmaltz‘ Monographie über Oberflächenrauheit und machte Vorschläge für die Standardisierung von Parametern und Werten zur Bewertung der Oberflächenrauheit. Die Verwendung von Rauheitsbewertungsparametern und ihren numerischen Werten wurde jedoch in den 1940er Jahren zu einem weithin akzeptierten Standard, als in verschiedenen Ländern entsprechende nationale Standards herausgegeben wurden.
Zuerst gaben die Vereinigten Staaten 1940 den nationalen Standard ASA B46.1 heraus. Anschließend wurde er mehrmals überarbeitet und wurde zum aktuellen Standard ANSI/ASME B46. 1-1988 „Oberflächenstruktur, Oberflächenrauheit, Oberflächenwelligkeit und Verarbeitungstextur“. Dieser Standard Das Mittelliniensystem wurde übernommen und Ra wurde als Hauptparameter verwendet; Dann veröffentlichte die ehemalige Sowjetunion 1945 den nationalen Standard GOCT2789-1945 „Surface Finish, Surface Microgeometry, Grading and Representation“, der dreimal überarbeitet wurde und zu GOCT2789-1973 „Surface Roughness Parameters and Characteristics“ wurde. Dieser Standard übernimmt auch den Mittelliniensystem und legt 6 Bewertungsparameter fest, darunter die quadratische Mittelwertabweichung des Profils (Rq) und die entsprechenden Parameterwerte. Darüber hinaus wurden die meisten Standards anderer industriell entwickelter Länder in den 1950er Jahren formuliert von Deutschland gab im Februar 1952 die Normen DIN4760 und DIN4762 zu Parametern und Terminologie zur Bewertung der Oberflächenrauheit heraus.
